top

 ±âº» Á¤º¸

HOME   >  Á¤¹ÐÀüÀÚÀç·á  >   ±â¼ú Á¤º¸   >  ±âº»Á¤º¸

Ç¥¸éÀúÇ×(Surface Resistance) À̶õ?

  • Ç¥¸éÀúÇ×Àº ÀϹÝÀûÀ¸·Î Àç·áÀÇ µµÀü¼ºÀÇ Ã´µµ·Î »ç¿ëÇϸç Á¤»ç°¢Çü ÆÇÇü ¸éÀûÀÇ Ãþ ÀúÇ×À» ¸»ÇÕ´Ï´Ù.
  • Ç¥¸éÀúÇ×´ÜÀ§´Â ohm/sq·Î Ç¥½ÃµË´Ï´Ù. ¿©±â¼­ Sq´Â ¡à ·Îµµ Ç¥½ÃµÇ¸ç, ¹ÌÅ͹ý(§² µî)ÀÌ ¾Æ´Ñ º°µµÀÇ ´ÜÀ§·Î¼­, ¹«ÇÑ´ëÀÇ ¸éÀûÀ¸·Î Çؼ®ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÀϹÝÀûÀÔ´Ï´Ù. ¼± ÀúÇ×Àº µÎ °³ÀÇ probe·Î ÀÓÀÇÀÇ °Å¸®¿¡ ´ëÇÑ ÀúÇ×À» ÃøÁ¤ÇÏÁö¸¸, Ç¥¸éÀúÇ×ÀÇ °æ¿ì¿¡´Â µ¿ÀÏÇÑ °£°ÝÀÇ 4°³ ŽħÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÏ°Ô µË´Ï´Ù.

´ëÀü¹æÁö¿Í Ç¥¸éÀúÇ×

  • PET FilmÀÇ °æ¿ì °ø±âÁßÀÇ ¼öºÐ Èí¼ö·ÂÀÌ °ÅÀÇ ¾ø°í, Àý¿¬ÀúÇ×ÀÌ ¸Å¿ì ³ô±â ¶§¹®¿¡ ¹ß»ýµÈ Á¤Àü±â¸¦ Èê·Á¹ö¸®Áö ¸øÇÏ°í ÃàÀûÇÏ´Â ¼ºÁúÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.µû¶ó¼­ °ø±âÁßÀÇ ¸ÕÁö¸¦ ÈíÂøÇÏ¿© Ç¥¸éÀÌ ¿À¿°µÉ ¿ì·Á°¡ ÀÖ°í, Á¤Àü±â Àå¾Ö¸¦ ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
  • ÀÌ¿Í °°Àº Á¤Àü±â ÀåÇظ¦ ¹æÁöÇϱâ À§ÇØ PET Film »ç¿ë ¸ñÀû¿¡ µû¶ó Ç¥¸éÀúÇ×À» Á¦¾îÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. PET Film Ç¥¸é¿¡ Á¤Àü±âÀÇ ÃàÀûÀ» ¹æÁöÇϱâ À§Çؼ­ Ç¥¸éÀúÇ×À» 1012 ¥Ø/¡à ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇÏ¿©¾ß ÇÕ´Ï´Ù. Ç¥¸éÀúÇ×À» 1012 ¥Ø/¡à ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇϱâ À§Çؼ­´Â ´ëÀü¹æÁöÁ¦¸¦ FilmÇ¥¸é¿¡ µµÆ÷ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÄÚ½ºÆ½ ´ëÀü¹æÁö ÄÚÆÃÀÇ °æ¿ì Ç¥¸éÀúÇ× 109 ¥Ø/¡àÀÌÇÏ , 1012 ¥Ø/¡à ÀÌÇÏ·Î °ü¸®ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

Ç¥¸éÀúÇ× ¿µ¿ªº° Ư¼º

  • Ç¥¸éÀúÇ× ¿µ¿ªº° Ư¼º
    Ç¥¸éÀúÇ×(¥Ø/¡à) ´ëÀüÇö»ó ¸ñÀû ÀÀ¿ëºÐ¾ß
    1013 < Á¤ÀüÇÏ ÃàÀû Àý¿¬ Àý¿¬
    1012 ~ 1013 ´ëÀü ÈÄ ¼­¼­È÷ °¨¼è Á¤Àû»óÅ ÀåÇعæÁö ´ëÀü ¹æÁö¿ë
    1010 ~ 1012 ´ëÀü ÈÄ Áï½Ã °¨¼è µ¿Àû»óÅ ÀåÇعæÁö ´ëÀü ¹æÁö¿ë
    106 ~ 109 °ÅÀÇ ´ëÀüÇÏÁö ¾ÊÀ½ Àüµµ¼º ºÎ¿©, ÃàÀü¹æÁö ´ëÀü ¹æÁö¿ë
    103 ~ 106 ÀüÇô ´ëÀüÇÏÁö ¾ÊÀ½ ÀüÀÚÆÄ Â÷Æó¿ë ÀüÀÚÆÄ Â÷Æó
    < 103 ÀüÇô ´ëÀüÇÏÁö ¾ÊÀ½ Àü±Ø Àü±Ø

Å©¸°·ë(Clean Room) Á¤ÀÇ

  • Å©¸°·ëÀ̶õ ûÁ¤½Ç(ôèïäãø)À̶ó°íµµ ÇÏ¸ç °øÁ¤ Áß¿¡¼­ Á¦¹Ý Á¦Ç°ÀÇ ¼ÒÁ¤¼öÀ²ÀÇ Ç°ÁúÀ» ¾ò±â À§ÇØ ¿ä±¸µÇ´Â Ƽ ¾øÀÌ ¸¼°í ±ú²ýÇÑ ¹æÀ» ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù. ¸ÕÁöÀÇ ³óµµ, ¿Âµµ, ½Àµµ, ±â·ù, Â÷¾Ð µîÀÌ Á¾ÇÕÀûÀ¸·Î °ü¸®µÇ´Â ¹ÐÆóµÈ °ø°£À» ¸»ÇÕ´Ï´Ù.

Å©¸°·ëÀÇ Ã»Á¤µµ(Clean Class) ±âÁØ

  • ûÁ¤µµ¶õ Å©¸°·ë ¶Ç´Â ÀÌ¿¡ »óÀÀµÇ´Â ºÐÀ§±âÀÇ °ø°£À» ¿ëµµ¿¡ ¸Â´Â µî±ÞÀ¸·Î ±¸ºÐ Áþ±â À§ÇØ ÀÏÁ¤·®ÀÇ °ø±â¸¦ Æ÷ÁýÇÏ¿© ±× ¼Ó¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â ÀÔÀÚÀÇ ¼ö¸¦ Á¦ÇÑÇÏ°í °ü¸®ÇÏ´Â °ÍÀ» ¸»ÇÕ´Ï´Ù. 1ÀÔ¹æÇÇÆ®(1 ft³)ÀÇ °ø±â ³»¿¡ ÀÖ´Â Áö¸§ 0.5§­ ÀÌ»óÀÇ Å©±âÀÇ ÃÖ´ëÇã¿ëÀÔÀÚ¼ö¿¡ µû¶ó Clean Class°¡ °áÁ¤µË´Ï´Ù.
  • ¡Ø 1 ft = 30.48cm
  • ¿¹) Class 1,000: 1 ft©ø °ø±â ³»¿¡ Áö¸§ 0.5§­ ÀÌ»óÀÇ ÀÔÀÚ°¡ 1,000°³ ÀÌÇÏÀΠûÁ¤ °ø°£.
  • Çѱ¹ÄÚ½ºÆ½ Å©¸°·ëÀÇ °æ¿ì ÄÚÅͽÇ, ´ë±â½ÇÀº Class 1,000ÀÌÇÏ, ÄÚÅÍhead ³»ºÎ´Â Class 500 ÀÌÇÏ·Î °ü¸®ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.

Å©¸°·ëÀÇ Çʿ伺

  • ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ µî ÷´Ü »ê¾÷ÀÇ ¹ß´Þ·Î ÀÎÇÏ¿© »ý»ê°øÁ¤ÀÇ ÃÊÁ¤¹ÐÈ­, °í Ç°ÁúÈ­ ¹× ½Å·Ú¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Ãß¼¼¿¡ ¸ÂÃç ÷´ÜÁ¦Ç°ÀÇ ¼º´É°ú ¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇÏ¿© ûÁ¤ »ý»êȯ°æÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. Á¤º¸ÀüÀÚ¼ÒÀç Çʸ§Á¦Ç° ¿ª½Ã °í Ç°Áú, °í ½Å·Ú¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ¾î ûÁ¤ »ý»êȯ°æÀÌ Çʼö ¿ä¼Ò°¡ µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Çѱ¹ÄÚ½ºÆ½¿¡¼­´Â Ç׿Â, Ç×½À, ³ôÀº ûÁ¤ »óÅ°¡ À¯ÁöµÇ´Â Å©¸°·ë¿¡¼­ Á¦Ç° »ý»êÀ» ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.